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大理石光學(xué)平臺(tái)由大理石臺(tái)面和光學(xué)支撐架兩部分組成。一般的光學(xué)支撐架有阻尼支撐架和氣浮支撐架兩種。
精密大理石行業(yè)發(fā)展至今也只有20-30年的時(shí)間,90年代我國(guó)一些關(guān)鍵行業(yè)受到國(guó)外限制,當(dāng)時(shí)的中國(guó)工業(yè)生產(chǎn)比較落后,很多科技發(fā)展先進(jìn)國(guó)家都在發(fā)展高性能的材料來(lái)滿(mǎn)足行業(yè)的需求,但是中國(guó)沒(méi)有相關(guān)技術(shù),所以國(guó)家的一部分研究院所和國(guó)有企業(yè)等單位開(kāi)始研制適用性強(qiáng),性?xún)r(jià)比高的材質(zhì)——大理石。中國(guó)也作為最早的國(guó)家之一,開(kāi)始使用大理石作為標(biāo)準(zhǔn)件和配件,大理石已經(jīng)成為我國(guó)一個(gè)傳統(tǒng)行業(yè)發(fā)展至今。
大理石平臺(tái)主要由石英或長(zhǎng)石等礦物組成,經(jīng)長(zhǎng)期天然時(shí)效,組織結(jié)構(gòu)均勻,線脹系數(shù)極小,內(nèi)應(yīng)力消失,不易變形。大理石平臺(tái)具備精度高、硬度高、耐磨性強(qiáng)、不怕酸鹼液物侵蝕、不會(huì)生銹、不必涂油、不易粘微塵、維護(hù)保養(yǎng)方便簡(jiǎn)單、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)良性能,通常作為精密測(cè)量的基準(zhǔn)面,已逐步替代鑄鐵平臺(tái)被廣泛使用在工業(yè)與科研等各個(gè)領(lǐng)域,如精密微加工、航空航天、晶圓檢測(cè)、精密儀器檢測(cè)檢測(cè)等實(shí)驗(yàn)。也經(jīng)常作為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,高精度顯微鏡、主動(dòng)隔振平臺(tái)等設(shè)備的基座。
了解大理石平臺(tái)的基本情況后,將具體給大家介紹大理石光學(xué)平臺(tái)的隔振原理。
大理石隔振原理主要利用其高密度、低熱膨脹系數(shù)和硬度特性,通過(guò)增加阻尼和改變振動(dòng)傳遞路徑來(lái)減少振動(dòng)的影響。大理石的特性就是大理石是一種密度大、熱膨脹系數(shù)低且硬度高的材料,不易受環(huán)境因素而改變,擁有較好的減振吸振性能。
它通過(guò)在設(shè)備和地基之間加入大理石平臺(tái),利用其特性減少振動(dòng)傳遞到設(shè)備上。氣浮支撐系統(tǒng)主要運(yùn)用于超低頻的振動(dòng)中,它通過(guò)使用大理石平臺(tái)作為基礎(chǔ),結(jié)合氣浮隔振技術(shù),通過(guò)氣體力學(xué)原理完成對(duì)振動(dòng)的隔離。所以超低頻隔振的解決方案就是利用空氣彈簧產(chǎn)品,通過(guò)提供超低頻的振動(dòng)隔振,自動(dòng)重新調(diào)平到預(yù)設(shè)位置,并對(duì)支撐負(fù)載的變化和重心移動(dòng)做出快速反應(yīng)。
綜上所述,大理石隔振原理在精密測(cè)量和設(shè)備保護(hù)中發(fā)揮著重要作用。其物理特性使其成為減少振動(dòng)影響的理想選擇。
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